TU Berlin

Forschungsschwerpunkt Technologien der MikroperipherikReinraum für Wafer Level Technologien

Inhalt des Dokuments

zur Navigation

Der Reinraum

Picture of Cleanroom
Lupe

Mit der Einrichtung des FSP Technologien der Mikroperipherik wurde im Jahr 1988 ein Reinraum für Wafer Level Packaging Technologien fertiggestellt. Der Reinraum wurde einem ehemaligen Gebäude der Allgemeinen Elektrizitäts-Gesellschaft (AEG)  integriert und 1993 und 1999 erweitert und modernisiert. Seit dem Jahr 2012 bis 2014 finden weitere umfangreiche Modernisierungsmaßnahmen statt. Heute stehen mehr als 800m² Reinraum für Forschung- und Entwicklungsprojekte zur Verfügung.

Kontakt

Oswin Ehrmann

Telefon: +49 (0)30 314-72773

Navigation

Direktzugang

Schnellnavigation zur Seite über Nummerneingabe